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고전압 전원장치

고전압 전원장치

고전압 전원장치

고전압 전원장치

ESC Controller

특징

향상된 전류 검출 능력
  • WPS-AHBS004 (10nA 전류 검출), 유지 전류 및 ESC의 미세 전류 변화 계측 가능
Electrostatic Chuck(ESC)을 제어하기 위한 고전압 전원 장치
  • 정전척 (ESC) 응용 제품
  • 양극성 고전압 출력
  • 고정밀 출력 전류 모니터링
  • 로컬 및 원격 제어
  • PC 및 PLC를 통한 제어 및 모니터링
  • 고속 방전 기능 내장

제품 사양

  Slim-HPS HPS
WPS-AHBS003 WPS-AHBS004 HPS 3.0K-DS-03A/03B HPS 3.0K-DD-03A/03B HPS 5.0K-DD-03A
입력 전압 12V 24V
전류 Max. 2.5A Max. 2.5A
출력 전압 ±0.5kV ~ ±1.8kV ±0.5kV ~ ±1.8kV ±0.5kV ~ ±2.5kV
전류 1mA 1mA 1mA
채널 Single Single Dual Dual
디스플레이 - VFD : 2 Line x 16 Characters
출력전류 모니터링 10uA 10nA 10uA and 10nA 10uA
로컬 모드 Run, Stop and Toggle (Polarity reverse function)
원격 모드 RS232 & RS485 / Run, Stop and Toggle (Polarity reverse function), Data monitoring, User parameter update
보호 기능 UVLO, OVP, OCP, Output ARC current
옵션 Digital I/O port, Temperature sensor (NTC type)
크기[mm] (W x D x H) 200 x 223 x 40 230 x 223 x 40 166 x 300 x 88 250 x 300 x 80 250 x 300 x 80

제품 구성

Slim-HPS

HPS Single channel

HPS Dual channel

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